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扬州造电子气体精琢中国芯 能在纳米级晶圆上“

发布时间:2019-01-19

“别看名义很个别,里面装的可是真宝贝。”日前,在位于维扬经济开发区生态科技园的扬州摩笛尔电子材料有限公司,技能总监杨先金博士抱起一只比一般灭火器略大的绿色气罐向记者先容说,气罐里装着该公司研发的高纯电子气体“特摩尔”,30公斤装,售价高达4.5万元,“这种气体可用于加工最新一代晶圆及抗癌药物制备、精细仪器荡涤等范畴,补充了国内空白。”

政企同发力海归博士组团研发专项资金鼎力扶持

据介绍,该公司研发团队由七名海归博士组成。这支阵容豪华的队伍,研发方向横跨半导体、河口大陆分析、打算机警能操纵技术、生物制药等领域,为实验室技术向工厂化工艺推进,奠定了雄厚的研发力量。尤其是领衔团队的张嘉恒,他多年来从事绿色电子气体的制备与高纯度研究,开发出“气体中超微量杂质的富集技术”“微量未知气体杂质结构解析技巧”“气体低温精馏提纯技术”等多项新技术。

杨先金说,人们常说的芯片,就是在晶圆片上刻蚀出晶体管制作而成的电路构造,晶圆数值越低,就越能提升芯片的性能和降低芯片的尺寸,同时有效下降功耗跟发热量。因此,最新一代的晶圆已经达到了纳米级。“在纳米级的晶圆上‘干活’,比在头发丝上作画都要复杂精巧。”杨先金表示,“特摩尔”之所以能够做到“精雕细琢”,除了具备堕落性外,其纯度也很高,“与个别电子气体99.99%的纯度比较,特摩尔的纯度到达了99.995%,可能有效降落芯片加工进程中的次品率。”

这家年轻的扬州公司,为何可能研发出弥补海内空缺的高精尖产品?

通讯员袁长明本报记者嵇尚东

纳米级应用“精雕细琢”助力国产芯片进级加速

任务编辑:煜婕

据介绍,电子气体是集成电路、光电子、微电子特别是超大范畴集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体资料制造过程中不可缺少的基天性材料,主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺,被称为电子工业的“血液”和“粮食”,它的纯度和清洁度直接影响着电路及器件的正确性和准确性。

摩笛尔研发出的“特摩尔”,就是一种新型干蚀刻电子气体。杨先金介绍,特摩尔存在蚀刻条件温和、蚀刻损害少、蚀刻精度高、环境友好等优势,“它可用于加工最新一代晶圆及抗癌药物制备、精致仪器荡涤等范围,助力国产芯片升级加速。”

“产品研发成功,也离不开政府局部的大力支持。”杨先金介绍,公司前不久获得了市天使(人才)专项资金200万元。“在各级政府的关心跟支撑下,公司发展大大超出预期。目前,咱们正与扬州一家化工企业卡脖子,准备上马设备,预计今年产能能达到100吨,实现销售2亿元。”

杨先金介绍,目前产品正处于中试期间,售价相比优惠,待量产后预计将卖到200万元/吨。



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